عرضه دستگاهی برای تولید سنسور ایربگ خودرو ها
به گزارش زارا محققان یكی از شركت های مستقر در پارك علم و فناوری دانشگاه تهران علاوه بر ساخت دستگاهی برای تولید حسگرهای ایربگ خودرو، تجهیزاتی برای ساخت ادوات نیمه هادی را به بازار كشور معرفی كردند.
به گزارش زارا به نقل از ایسنا، رضا عسگری مقدم، مجری این طرح لیتوگرافی و میكرو الكترومكانیك را از زمینه های تولیدی این شركت دانش بنیان نام برد و اظهار داشت: ادوات میكرو الكترومكانیك كاربردهای قابل توجهی در صنایع مختلف دارد بگونه ای كه در این شركت تجهیزات و دستگاه هایی ایجاد می شود كه به وسیله آن امكان ساخت انواع حسگر خودرو همچون حسگر ایربگ برای تولید كننده نهایی فراهم می شود.
وی تولیددستگاه لیتوگرافی رومیزی را از دستاوردهای این شركت دانست و اظهار نمود: این دستگاه قابلیت لیتوگرافی ماسك با ابعاد متفاوت، كپی كردن طرح یا الگوی موجود در ماسك با دقت بسیار بالا را دارد و دستگاه قابلیت لیتوگرافی ماسك با ابعاد متفاوت از ۰.۵ تا ۴ اینچ را دارد. علاوه بر آن در این دستگاه از اشعه فرابنفش (UV) برای نوردهی استفاده شده است.
دستگاه تطبیق ماسك دو طرفه از دیگر دستاوردهای این شركت است. از این دستگاه برای لیتوگرافی و بخصوص در كاربردهای خاصی كه نیاز است الگوی مورد نظر را با لایه های قبلی تطبیق داد، استفاده می شود.
در ساخت اغلب ادوات نیمه هادی چندین لایه روی هم الگودهی می شوند و در نتیجه چندین مرحله لیتوگرافی باید صورت گیرد كه الگودهی هر مرحله باید منطبق با الگوی پیشین باشد كه دستگاه تطبیق ماسك در این حوزه دقت بالایی دارد.
علاوه بر آن برای ساخت ادوات MEMS لازم است زیر نمونه هم دیده شود و تطبیق دوطرفه مورد نیاز است كه این دستگاه از یك سیستم مكانیكی برای جابجایی نمونه با دقت میكرومتری و یك میكروسكوپ نوری برای مشاهده الگوی نمونه و ماسك بهره می برد. این دستگاه قابلیت تطبیق ماسك های اپتیكی از دو طرف را دارا است كه برای ساخت ادوات MEMS ضروریست.
دقت این دستگاه ۲ میكرون اعلام شده است.
دستاوردهای این شركت مقرر است در هفتمین دوره نمایشگاه تجهیزات و مواد آزمایشگاهی ایران ساخت كه از ۲۶ تا ۲۹ آذرماه در نمایشگاه بین المللی تهران برگزار می شود، نمایش داده شود.
منبع: زارا
این مطلب را می پسندید؟
(1)
(0)
تازه ترین مطالب مرتبط
نظرات بینندگان در مورد این مطلب